10萬級無塵車間凈化工程標準規范

前言：

在每單位空氣體積的潔凈空間進行分類的水平標準，最大濃度限值大于或等于要考慮的顆粒大小。凈化工程指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。潔凈室對于凈化空調系統的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調送風中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。使用空方法和靜態方法進行測試。

100，000級無塵車間：指空氣潔凈度為100，000的潔凈車間.空氣潔凈度是指在潔凈的環境中，空氣中懸浮顆粒的數量。當粉塵濃度較高時，空氣潔凈度一般較低，而粉塵濃度較低時，空氣潔凈度較高。它是根據每立方米空氣的最大允許顆粒數來確定其空氣潔凈度水平。

本文詳細闡述了建造10萬級潔凈車間的標準規范，并結合現行規范標準，總結了潔凈度車間的特點，潔凈度達到10萬級。

從通風頻率的角度來看：

100,000級的要求是每小時18-25次。充分通風后，空氣凈化時間不超過40分鐘。

10000級要求每小時通風25/30，完全通風后空氣凈化不超過30分鐘。

1000級每小時需要40-60次換氣，完全通風后的空氣凈化時間不超過20分鐘。

包括10萬級凈化車間在內的各級潔凈度標準如下：

iso 14644根據懸浮粒子濃度的唯一指標，將潔凈室及相關控制環境中空氣的潔凈度分類，只考慮累積分布在0.1微米至5.0微米之間的粒子群。

根據粒徑可分為常規顆粒、超微結構顆粒和宏觀顆粒。

空氣潔凈度等級標準：ISO14644-1

空氣潔凈度等級

大于或等于標準粒徑的顆粒最大濃度限值

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注意：由于測量過程中所涉及的不確定性，需要確定濃度不超過三個有效濃度數字的水平。

空氣潔凈度分級標準：GB/T 16292-1996

粒徑、數值潔凈度級別

最大允許灰塵/立方米

微生物最大允許數

0.