常見的潔凈室潔凈度等級列表

凈化車間級別一般分為M3.5、M4.5、M5.5和M6.54。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。潔凈室對于凈化空調系統的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調送風中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。但是，根據不同行業的不同工作流程，所需的級別也不同。例如，在半導體制造廠等地，根據操作內容，有一個M1M5.5凈化室。另外，在制藥廠，根據產品的純度和操作規程，潔凈室的面積從M3.5到M6.5不等。因此，各行業所需的潔凈度是不同的。

關于一般職等，表11可作為參考。

表11.每個行業所需凈化車間級別概覽

領域和產業

潔凈度標準

內容

SI

English unit

半導體工業

掩模板對準工藝

M3.5

100

刻蝕工藝

M3.5

100

腐蝕加工

擴散工藝

M3.5

100

高純度擴散

蒸著工藝

M3.5

100

高純度電鍍

涂布工藝

M3.5

100

感光劑涂布

電子設備

計算器制造

M5.5

10,000

磁頭

陰極射線管

M5.5

10,000,

遮屏

磁帶

M5.5

10,000

防止雜音

精密儀器

陀螺、微型軸承

M5.5

10,000

提高精度

導彈部件、繼電器

M5.5

10,000

防止誤動作

鐘表、小型計量儀器

M5.5

10,000

組立、封裝、修理

光學、印刷

照相機、印刷電路板

M5.5

10,000

制作

鏡頭、膠片

M4.5

1,000

連接

電子制版

M5.5

10,000

制作、檢查

化學藥品

注射液充填

M3.5

100

調和、充填

無菌動物養育

M3.5

100

SPF

化學藥品

抗生物

M5.5

10,000

充填、檢查

一般醫療品

M6.5

100,000

制造

食品

釀造、發酵

M5.5

10,000

防止醬油、大醬腐壞

乳制品、生食品

M6.5

100,000

防止酸乳酪變質

食肉加工

M5.5

10,000

火腿、香腸

攪拌(弄成糊狀)食品

M5.5

10,000

當食物冷卻時，攪拌冷凍的圓柱形，半圓形魚，魚，山楂球和其他食物不會冷卻。

醫療

手術室

M3.5

100

股關節手術、臟器移植

特殊治療室

M3.5

100

白血病、燙傷

恢復、新生兒室

M3.5

10,000

早產兒、術后防止感染

臨床檢查

M5.5

10,000

菌類培植、檢查

農林畜產

蘑菇栽培

M5.5

10,000

防止蘑菇菌株被雜菌感染

植物

M6.5

100,000

蘭花栽培

養殖

M5.