電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

 
      對(duì)于大部分電子行業(yè)潔凈空間，為了控制一定的潔凈度，需要防止外界污染侵入，所以要保持

內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。這樣外界的污染就不會(huì)侵入室內(nèi)。其中壓力差的維

持一般應(yīng)符合以下原則：

                     
 
1 潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
 
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
 
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理

意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。


潔凈室中的氣流速度規(guī)定：

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     這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說

明。對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概

念，而不直接用速度的概念，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求；
 
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。
 
(2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污

染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。
 
對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的

速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需

要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。


 
在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范））都是這樣規(guī)定的

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垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s

             
 
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s